真空體系：選擇真空體系首先應考慮熔室初抽的時刻及各閘閥隔離室抽暇所需的時刻，例如一般主熔煉室要求15min抽暇至13.3N/m(即1×10Torr);然后考慮精粹期氣體排出量和對精粹期真空度的要求，這與選用的原材料品種、成分和對熔煉后合金成分的要求有很大聯系;還要考慮外來氣體源，這對大型爐子更為重要，例如由各真空密封處密封不嚴引起的漏氣，坩堝、絕緣物、導流槽等耐火材料放氣，還有爐壁沉積的揮發物吸氣后的放氣等。一般答應熔煉前熔煉室漏氣加放氣到達每kg坩堝容量6.65×10-2～1.33×10-1N.L/(m·s)。對爐體漏氣要求愈小愈好，因為同一真空度下漏氣大的爐子熔煉冶金效果差。通過在熔煉室安放便于鏟除揮發物的冷凝捕集器以及選用溫水冷卻爐壁可顯著減少熔煉時爐體受熱發生的大量放氣。真空感應爐

裝料與輔佐設備。有塊料、合金料與液態金屬等加料裝置設備，常用為前兩種。小爐的塊料打開爐蓋直接用手裝料;大型爐子為了使熔煉室接連堅持真空，專用閘閥在坩堝上方建有加料室，用底開式吊籃通過加料組織將塊料直接送入坩堝。

合金加料器。位于熔煉室之上，總容量約為熔煉料的2～10，為多格別離貯料，通過真空閘閥與振蕩送料器將各種合金料于合適的熔煉期間別離參加坩堝內的液態金屬中。合金液取樣器。為了操控冶煉過程，有必要在不同熔煉期間取樣分析合金成分與雜質含量。取樣器可通過一小真空閥直接自熔池內取樣，或許通過加料裝置閘閥自熔池中取樣。測溫裝置。溫度是冶煉工藝的重要參數，運用輻射光學高溫計測溫，有必要及時鏟除玻窗上的揮發物并對其進行校正;因此，標準的辦法是用浸入式熱電偶測溫，它可通過專門真空閥門送入，或通過加料室閘閥送入。除此之外，還有搗料桿、可移動坩堝蓋，錠模及導流槽等隸屬設備。真空感應熔煉設備以德國萊波特海拉斯(Leybold Her-aeus)公司和美國康薩克(Consarc)公司的產品較為先進。我國主要生產廠家為上海電爐廠、錦州電爐廠等。

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