真空感應爐包括電源輸入系統、真空系統和爐體三大部分。

一、電源輸入系統：由于真空感應爐設備投資較大，縮短熔煉周期以提高設備利用率就成為選擇電源功率的重要因素，通常選擇300～500kW熔煉每噸金屬;電源頻率的選擇主要考慮熔池能得到充分的攪拌以利于合金料熔化和精煉反應的進行。為了得到充分的攪拌，有的感應爐備有攪拌輔助電源;選擇較低輸入電壓，有利于解決真空下放電的絕緣問題。

二、真空系統：選擇真空系統首先應考慮熔室初抽的時間及各閘閥隔離室抽空所需的時間，例如通常主熔煉室要求15min抽空至13.3N/m(即1×10Torr);然后考慮精煉期氣體排出量和對精煉期真空度的要求，這與選用的原材料種類、成分和對熔煉后合金成分的要求有很大關系;還要考慮外來氣體源，這對大型爐子更為重要，例如由各真空密封處密封不嚴引起的漏氣，坩堝、絕緣物、導流槽等耐火材料放氣，還有爐壁沉積的揮發物吸氣后的放氣等。

三、爐體結構：往往根據用戶需要設計，因而是多種多樣。通常包括熔煉室和裝料及輔助設備兩大部分。

（1）熔煉室。對小型真空感應爐(<500kg/爐)通常選擇側傾坩堝澆注的結構，在熔煉室內澆注，優點是結構緊湊。

（2）裝料與輔助設備。有塊料、合金料與液態金屬等加料裝置設備，常用為前兩種。小爐的塊料打開爐蓋直接用手裝料;大型爐子為了使熔煉室連續保持真空，專用閘閥在坩堝上方建有加料室，用底開式吊籃通過加料機構將塊料直接送入坩堝。

（3）合金加料器。位于熔煉室之上，總容量約為熔煉料的2%～10%，為多格分別貯料，通過真空閘閥與振動送料器將各種合金料于合適的熔煉期間分別加入坩堝內的液態金屬中。

（4）合金液取樣器。為了控制冶煉過程，必須在不同熔煉期間取樣分析合金成分與雜質含量。取樣器可通過一小真空閥直接自熔池內取樣，或者通過加料裝置閘閥自熔池中取樣。

（5）測溫裝置。溫度是冶煉工藝的重要參數，使用輻射光學高溫計測溫，必須及時清除玻窗上的揮發物并對其進行校正；因此，標準的方法是用浸入式熱電偶測溫，它可通過專門真空閥門送入，或經過加料室閘閥送入。除此之外，還有搗料桿、可移動坩堝蓋，錠模及導流槽等附屬設備。

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